产品描述
PhotoKleenTMEZD 过滤器设计用于简单、快速更换终端光化学分配应用中的过滤器并确保其清洁度和安全性。PhotoKleenTM EZD 过滤器组件由头部歧管接口和 HDPE（高密度聚乙烯）囊式过滤器组成， 是改善现有设备性能的理想选择，可指定安装在先进的新型分配泵中。XP 选件可用于先进的光刻工艺。
特点和优势
滞留体积小
在洁净室环境中生产
囊式过滤器组件
顶入/顶出流向
一步式快速断开过滤器
死区面积极小
减少过滤器启动和更换过程中产生的化学废弃物
XP 选件可将有机析出物降至极低，以实现快速启动并减少化学废弃物
XP 选件可用于先进的工艺，确保低有机物、金属和颗粒清洁性
